[实用新型]一种具有可移动坩埚的蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820805392.2 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN207646276U | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 顾骏 | 申请（专利权）人： | 上海精骊电子技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀设备，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降；还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过；还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。实用新型提供的蒸镀设备，可以使得蒸镀材料在玻璃上沉积速率保持一致，还降低了功耗，并且蒸镀材料性质稳定，不易劣化，提高了蒸镀材料的利用率和蒸镀工艺的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸镀材料 蒸镀设备 加热单元 升降机构 容纳 熔化 本实用新型 可移动坩埚 升华 弹簧机构 速率保持 性质稳定 喷射口 沉积 功耗 良率 劣化 蒸镀 加热 蒸发 玻璃 外部 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降；还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过；还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。
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