[实用新型]一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器

摘要

本实用新型公开了一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器。所述原子化器包括：内管，依次套设于所述内管的外表面的中管、内导体以及外导体；通过在内管的外表面依次套设中管、内导体以及外导体，形成多个腔体，并在中管外表面设置内层炬气体入口以及在内导体的外表面设置外层炬气体入口，从而形成内层等离子体以及外层等离子体，所述内层等离子体与所述外层等离子体形成双重复合层流微波耦合等离子体。本实用新型所提供的微波耦合等离子体原子化器能够进一步提高原子化效率。

主权项

1.一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，包括：内管，依次套设于所述内管的外表面的中管、内导体以及外导体；所述内管为两端开口的中空结构；所述两端开口包括被测样品蒸汽出口以及被测样品入口；靠近所述被测样品入口的所述中管的一端为第一封闭端，与所述内管密封连接，所述中管的另一端为第一开口端，所述中管与所述内管之间形成第一腔室；靠近所述第一封闭端的所述内导体的一端为第二封闭端，与所述中管密封连接，所述内导体的另一端为第二开口端，所述内导体与所述中管之间形成第二腔室；靠近所述第二封闭端的所述外导体的一端为第三封闭端，与所述内导体密封连接，所述外导体的另一端为第三开口端，所述外导体与所述内导体之间形成第三腔室；所述第一封闭端与所述第二封闭端之间设有内层炬气体入口；所述第二封闭端与所述第三封闭端之间设有外层炬气体入口；所述外导体的外表面设有微波天线接入口，所述微波天线接入口内设有微波天线，所述微波天线与所述内导体电气连接，形成微波电场；内层炬气体通过所述内层炬气体入口进入所述第一腔室，在所述微波电场作用下，在所述中管的第一开口端形成内层等离子体；外层炬气体通过所述外层炬气体入口进入所述第二腔室，在所述微波电场作用下，在所述内导体的第二开口端形成外层等离子体；所述内层等离子体与所述外层等离子体形成双重复合层流微波耦合等离子体；所述微波耦合等离子体用于激发被测样品。