[实用新型]晶圆盒

摘要

一种晶圆盒，用以容置至少一晶圆或晶圆框架，该晶圆盒包含盒体、门体、机器提把、多个动态定位销及至少一个配重件。盒体具有底座、两个侧壁、后壁及顶壁，并界定容置空间及与容置空间连通的开口。门体可拆离地与盒体组合以封闭开口。机器提把连接于盒体的顶壁的外侧面。动态定位销连接于盒体的底座的外侧面，动态定位销分布位置的中心点与机器提把的中心点在上下方向相对齐。配重件布设于底座，以使该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于机器提把的中心点与动态定位销分布位置的中心点的连线上。如此可在机械手臂抓取机器提把以移动晶圆盒的过程中，使该晶圆盒保持平衡及平稳以避免倾斜或晃动，借此降低晶圆损伤的机率。

主权项

1.一种晶圆盒，用以容置至少一晶圆或晶圆框架，其特征在于：该晶圆盒包含：盒体，具有底座、两个分别由该底座的左右两侧向上延伸且彼此间隔相对的侧壁、连接该底座和该两侧壁后端的后壁，及连接该两侧壁和该后壁顶端并与该底座间隔相对的顶壁，该底座、该两侧壁、该后壁及该顶壁共同界定容置空间，且该底座、该两侧壁及该顶壁共同形成门框并界定与该容置空间连通的开口；门体，可拆离地与该盒体组合以封闭该开口，且具有相连接的内门板及外门板；机器提把，连接于该盒体的该顶壁的外侧面；多个动态定位销，连接于该盒体的该底座的外侧面，且所述动态定位销分布位置的中心点与该机器提把的中心点在上下方向相对齐；及至少一个配重件，布设于该底座，以使该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于该机器提把的中心点与所述动态定位销分布位置的中心点的连线上。