[实用新型]精密移动平台有效
| 申请号： | 201820837294.7 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208729169U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 赖林松;周志伟;杨璐鸿;马国东;尹建刚;吴排青;陈锐;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q1/25 | 分类号： | B23Q1/25;B23Q1/38;B23Q5/28;B25H1/14 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种精密移动平台，包括：底座；第一导向装置，包括设于所述底座上的第一直线电机和与所述第一直线电机对应的第一气浮导轨，所述第一气浮导轨由所述第一直线电机驱动；第二导向装置，包括固定连接于所述第一气浮导轨的第二直线电机和与所述第二直线电机对应的第二气浮导轨，所述第二气浮导轨由所述第二直线电机驱动；以及载物台，固定连接于所述第二气浮导轨。精密移动平台在工作时，向第一气浮导轨和第二气浮导轨通入气体，调节两种气浮导轨各自的气膜间隙，在第一直线电机和第二直线电机的驱动下，实现低摩擦直线运动，提高移动平台的响应和运动精度。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮导轨 直线电机 精密移动平台 直线电机驱动 导向装置 底座 本实用新型 气膜间隙 移动平台 低摩擦 载物台 导轨 驱动 响应 | ||
【主权项】：
1.一种精密移动平台，其特征在于，包括：底座(100)；第一导向装置(200)，包括设于所述底座(100)上的第一直线电机(210)和与所述第一直线电机(210)对应的第一气浮导轨(220)，所述第一气浮导轨(220)由所述第一直线电机(210)驱动；第二导向装置(300)，包括固定连接于所述第一气浮导轨(220)的第二直线电机(310)和与所述第二直线电机(310)对应的第二气浮导轨(320)，所述第二气浮导轨(320)由所述第二直线电机(310)驱动；以及载物台(400)，固定连接于所述第二气浮导轨(320)。
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