[实用新型]一种改进的气相沉积炉

摘要

一种改进的气相沉积炉,它涉及气相沉积设备领域，具体涉及一种改进的气相沉积炉，它包含炉体、保温层、加热装置、第一炉膛、第二炉膛、第一沉积室、第一进气管、第一排气管、第二沉积室、第二进气管、第二排气管、主排气管，第一炉膛内设置有第一沉积室，第一进气管穿过炉体的底部炉壁并伸进第一沉积室内，第一排气管的进气端穿过炉体的顶部炉壁并伸进第一沉积室内，第二炉膛内设置有第二沉积室，第二进气管穿过炉体的底部炉壁并伸进第二沉积室内，第二排气管的进气端穿过炉体的顶部炉壁并伸进第二沉积室内。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它设置有多个沉积室，提高了生产效率，而且废气净化结构更加合理化。

主权项

1.一种改进的气相沉积炉，其特征在于：它包含炉体(1)、保温层(2)、加热装置(3)、第一炉膛(4)、第二炉膛(5)、第一沉积室(6)、第一进气管(7)、第一排气管(8)、第二沉积室(9)、第二进气管(10)、第二排气管(11)、主排气管(12)，炉体(1)的两侧炉壁设置有保温层(2)，炉体(1)内均匀设置有三组加热装置(3)，三组加热装置(3)将炉体(1)的内腔分为第一炉膛(4)和第二炉膛(5)两个部分，第一炉膛(4)内设置有第一沉积室(6)，第一进气管(7)穿过炉体(1)的底部炉壁并伸进第一沉积室(6)内，第一排气管(8)的进气端穿过炉体(1)的顶部炉壁并伸进第一沉积室(6)内，第一排气管(8)的出气端与主排气管(12)连通，第二炉膛(5)内设置有第二沉积室(9)，第二进气管(10)穿过炉体(1)的底部炉壁并伸进第二沉积室(9)内，第二排气管(11)的进气端穿过炉体(1)的顶部炉壁并伸进第二沉积室(9)内，第二排气管(11)的出气端与主排气管(12)连通。