[实用新型]一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体涉及一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备。本实用新型提供的低耗能双循环冷却多芯线圈包括外冷却水道以及内冷却水道，在工作过程中，冷却水通过第一连接部的进水通道进入设置在硅芯拉制孔外侧的外冷却水道以及设置在硅芯拉制孔内侧的内冷却水道，并通过出水通道排出，形成双循环冷却对硅芯拉制孔进行冷却，充分保证线圈冷却效果；同时将多个硅芯拉制孔集中设置于加热部，线圈直径总体小，加热硅芯料消耗的功率低，冷却效果好。本实用新型提供的硅芯制作设备，包括上述的低耗能双循环冷却多芯线圈，因此也具有上述的有益效果。

主权项

1.一种低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述低耗能双循环冷却多芯线圈包括高频线圈、外冷却水道以及内冷却水道；所述高频线圈具备第一连接部、第二连接部以及加热部，所述加热部间隔设置有多个硅芯拉制孔，所述外冷却水道环绕所述硅芯拉制孔外侧设置，所述内冷却水道环绕所述硅芯拉制孔内侧设置；所述第一连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的进水通道，所述第二连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的出水通道。