[实用新型]一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，属于锁紧机构技术领域。包括：固定底座；升降机构，升降机构布置在固定底座的上端；步进马达机构，步进马达机构布置在升降机构的上端；旋转机构，旋转机构布置在步进马达机构的上端面；定位装置，定位装置布置在旋转机构的左右两侧，定位装置的下方设置有滑动轨道，步进马达机构套设在滑动轨道，步进马达机构能沿滑动轨道的长度方向移动；真空吸嘴机构，真空吸嘴机构布置在旋转机构的上端面；切边检测激光传感器，切边检测激光传感器布置在定位装置与旋转机构之间的间隙内。本实用新型提供的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，避免对检测材料的损伤，保证检测的稳定性。

主权项

1.一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，包括：固定底座；升降机构，所述升降机构布置在所述固定底座的上端；步进马达机构，所述步进马达机构布置在所述升降机构的上端；旋转机构，所述旋转机构能绕其轴心旋转地布置在所述步进马达机构的上端面；定位装置，所述定位装置布置在所述旋转机构的左右两侧，所述定位装置与所述旋转机构之间设置有间隙，所述定位装置的下端设置有滑动轨道，所述步进马达机构能沿所述滑动轨道的长度方向移动地套设在所述滑动轨道；真空吸嘴机构，所述真空吸嘴机构布置在所述旋转机构的上端面；切边检测激光传感器，所述切边检测激光传感器布置在所述定位装置与所述旋转机构之间的间隙内。