[实用新型]载具的搬运设备有效
申请号: | 201820860899.8 | 申请日: | 2018-06-05 |
公开(公告)号: | CN208499704U | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 廖志强;林生海 | 申请(专利权)人: | 辛耘企业股份有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 张雅军;史瞳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种载具的搬运设备,包含夹持件,以及侦测装置。所述夹持件包括至少一用于夹持所述载具的夹持段,该至少一夹持段可以在未夹持所述载具的未夹持状态,以及夹持所述载具的夹持状态之间转换。所述侦测装置设于该至少一夹持段并包括感测元件,以及触发单元。所述触发单元可在未触发所述感测元件的初始位置,及触发所述感测元件使其产生感测讯号的触发位置之间运动。当该至少一夹持段在所述未夹持状态时,所述触发单元位在所述初始位置,当该至少一夹持段由所述未夹持状态变换至所述夹持状态时,所述触发单元受到所述载具抵顶而由所述初始位置运动至所述触发位置。 | ||
搜索关键词: | 夹持状态 夹持段 触发单元 感测元件 夹持 搬运设备 触发位置 侦测装置 夹持件 触发 载具 初始位置运动 感测讯号 抵顶 转换 | ||
【主权项】:
1.一种载具的搬运设备,适用于夹持承载至少一基板的所述载具;其特征在于,所述搬运设备包含:夹持件,包括至少一用于夹持所述载具的夹持段,该至少一夹持段可以在未夹持所述载具的未夹持状态,以及夹持所述载具的夹持状态之间转换;及侦测装置,设于该至少一夹持段并包括:感测元件;及触发单元,可在未触发所述感测元件的初始位置,及触发所述感测元件使其产生感测讯号的触发位置之间移动,当该至少一夹持段在所述未夹持状态时,所述触发单元位在所述初始位置,当该至少一夹持段由所述未夹持状态变换至所述夹持状态时,所述触发单元受到所述载具抵顶而由所述初始位置移动至所述触发位置。
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