[实用新型]硅片翻转机构及应用该翻转机构的硅片翻转装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片翻转机构，所述翻转机构包括依次设置的进料组件、翻转组件和出料组件。其中，所述进料组件用于运送待翻转硅片，所述待翻转硅片的第一表面朝上；所述翻转组件用于将所述进料组件运送的所述待翻转硅片表面翻转，使所述硅片的与所述第一表面相对的第二表面朝上；所述出料组件用于运送完成表面翻转后的硅片。该硅片翻转机构，实现了硅片翻转的自动化，提高了硅片翻转的效率；且结构简单，其进料组件、翻转组件、出料组件分段设置，各组件的运作互不干扰，提高了硅片翻转的稳定性和可靠性，降低了生产成本。本实用新型还公开了一种应用所述硅片翻转机构的硅片翻转装置。

主权项

1.一种硅片翻转机构，其特征在于，所述翻转机构包括依次设置的：进料组件：包括进料传送带，用于运送待翻转硅片，所述待翻转硅片的第一表面朝上；翻转组件：用于将所述进料组件运送的所述待翻转硅片的表面翻转，使所述硅片的与所述第一表面相对的第二表面朝上；该翻转组件包括基座、电机、转轴和至少一个转盘，在所述转盘上沿径向均匀间隔设置有多个凹槽，所述凹槽用于容纳所述进料传送带运送的硅片，所述转轴固定在所述基座上，所述电机驱动所述转轴转动从而带动所述至少一个转盘旋转；出料组件：用于运送完成表面翻转后的硅片，包括出料传送带，由所述翻转组件完成表面翻转后的硅片置于所述出料传送带上，所述出料传送带运送所述完成表面翻转后的硅片至下一加工工序；其中，在所述基座上设置有第一感应组件，用于感应由所述进料传送带运送至所述凹槽内的硅片；在所述出料组件前端设置有第二感应组件，用于感应由所述转盘完成表面翻转并置于所述出料传送带上的硅片。