[实用新型]宽度可调式移动机构

摘要

本实用新型在于提供一种能避免在移动时碰撞到晶圆的宽度可调式移动机构。其技术手段：为能配合晶圆生产设备应用，其中，宽度可调式移动机构包括有一具有垂直部及水平部的座体；一设于水平部表面边缘上的导轨；一设于导轨顶侧面一端的第一托臂组；一设置于导轨顶侧面另一端的第二托臂组；一设于垂直部前侧面一端的被动轮；一设置于垂直部前侧面另一端的主动轮；一环状绕设于被动和主动轮外，并形成顶、底侧区段的挠性带体；以及一与主动轮轴接的驱动装置；顶侧区段与第一托臂组连接，底侧区段与第二托臂组连接，而驱动装置能带动挠性带体，使第一、二托臂组同步连动，往相反方向移动用。

主权项

1.一种宽度可调式移动机构，能配合晶圆生产设备应用，其特征在于：所述宽度可调式移动机构(100)，包括有一座体(1)，其具有一侧相互交接的一垂直部(11)、及一水平部(12)；一导轨(2)，其设于该水平部(12)表面边缘上；一第一托臂组(3)，其设于该导轨(2)顶侧面一端；一第二托臂组(4)，其设置于该导轨(2)顶侧面另一端，能配合该第一托臂组(3)，一同吸附定位住晶圆(10)，以稳定托载该晶圆(10)；一被动轮(5)，其设于该垂直部(11)前侧面一端；一主动轮(6)，其设置于该垂直部(11)前侧面另一端；一挠性带体(7)，其呈环状绕设于该被动轮(5)和该主动轮(6)外，并形成一顶侧区段(71)与一底侧区段(72)，且该顶侧区段(71)与该第一托臂组(3)连接，而该底侧区段(72)与该第二托臂组(4)连接，以构成连动关系；以及一驱动装置(8)，其与该主动轮(6)轴接，能供带动该挠性带体(7)，使该第一托臂组(3)与该第二托臂组(4)同步连动，往相反方向移动用。