[实用新型]一种分子泵小车

摘要

本实用新型公开了一种分子泵小车，包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与所述外壳体的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口。从前级泵排出的气体先进入外壳体内，然后气体穿过防护网经S形进气道后再进入分子泵内，微粒进入分子泵后会被高速转动的叶片撞击从分子泵飞出撞到微粒收集机构上，通过微粒收集机构清除蓄积的微粒，同时不会降低气体的流量。

主权项

1.一种分子泵小车，其特征是：包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与所述外壳体的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括第一板体、第二板体和圆柱体形的防护网，所述第一板体与所述第二板体平行，所述第一板体通过所述防护网与所述第二板体固定连接，所述第二板体的中部设有与所述分子泵吸气口连通的出气通孔，所述第一板体靠近所述第二板体的一侧设有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板均为体形且高度相等，所述第一挡板设于所述第二挡板内，所述第二板体靠近所述第一板体的一侧设有圆柱体形的第三挡板，所述第三挡板位于所述第一挡板与所述第二挡板之间，所述第三挡板的高度与所述第一挡板的高度之和大于所述第一板体与所述第二板体之间的距离，所述第一板体靠近所述第二板体的一侧设有微粒收集机构。