[实用新型]一种蒸发镀膜装置有效
| 申请号： | 201820903834.7 | 申请日： | 2018-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN207987320U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈腾;王雪戈 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 邢惠童 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发镀膜装置，属于真空蒸镀领域。该蒸发镀膜装置包括：腔体、设置在腔体内的加热器，腔体的顶壁上设置有多个出气孔。此外，该蒸发镀膜装置还包括：与出气孔连通的排气件，排气件沿待蒸镀物体的长度方向均匀设置有多个与待蒸镀物体相对的蒸镀孔。设置在排气件上的多个调节件，该调节件用于调节蒸镀孔的开度。本实用新型提供的蒸发镀膜装置，在节约成本的同时，可以不断调整蒸镀孔的开度，进而调整每个蒸镀孔的蒸汽排量，使待蒸镀物体表面的膜层厚度保持一致，即，使喷射至待蒸镀物体表面的蒸汽更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 蒸发镀膜装置 排气件 本实用新型 物体表面 出气孔 开度 腔体 蒸汽 加热器 均匀设置 真空蒸镀 顶壁 膜层 排量 连通 喷射 体内 节约 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发镀膜装置，包括：腔体(1)、设置在所述腔体(1)内的加热器，所述腔体(1)的顶壁上设置有多个出气孔(101)；其特征在于，所述装置还包括：与所述出气孔(101)连通的排气件(2)，所述排气件(2)沿待蒸镀物体(X)的长度方向均匀设置有多个与所述待蒸镀物体(X)相对的蒸镀孔(201)；设置在所述排气件(2)上的多个调节件(3)，所述调节件(3)用于调节所述蒸镀孔(201)的开度。
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