[实用新型]一种端面处理装置

摘要

本实用新型公开了一种端面处理装置，包括按样品处理工艺依次连通的进样腔、预处理腔、解理腔和钝化腔，以及用于传送样品的第一传送机构、第二传送机构和第三传送机构；进样腔、预处理腔和第一传送机构均设置有两个，能够满足两轮样品分别存放的要求，在上一轮样品处理过程中可以进行下一轮样品的加热烘烤，节省了两轮工艺间的等待时间，显著缩短系列工艺过程中的时间成本，提升整机使用效率，提高设备产能。两个进样腔结构相同，均包括腔体、样品台和进样加热装置，通过进样加热装置对样品进行高温烘烤，可以去除样品上依附的空气中的水汽和杂质，减少外界环境杂质对真空腔室的污染。

主权项

1.一种端面处理装置，包括按样品处理工艺依次连通的进样腔、预处理腔、解理腔和钝化腔，以及用于传送所述样品的第一传送机构、第二传送机构和第三传送机构；所述第一传送机构设置于所述进样腔与所述预处理腔中；所述第二传送机构设置于所述预处理腔与所述解理腔中；所述第三传送机构设置于所述解理腔与所述钝化腔中；其特征在于：所述进样腔、所述预处理腔和所述第一传送机构均设置有两个，所述第二传送机构设置于两个所述预处理腔与所述解理腔中；两个所述进样腔结构相同，均包括腔体、样品台和进样加热装置；所述腔体上开设有进样通口，所述进样通口上安装有腔门，所述样品台和所述进样加热装置均设置于所述腔体中。