[实用新型]一种固晶臂控制机构有效
| 申请号： | 201820921872.5 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN208385360U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈勇伶 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽谷科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 杨宏;刘文求 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种固晶臂控制机构，固晶臂控制机构包括：固晶臂组件（3）、纵向移动组件（2）及转动组件（1）；纵向移动组件（2）驱动固晶臂组件（3）纵向运动，转动组件（1）驱动固晶臂组件（3）旋转运动;所述转动组件（1）与纵向移动组件（2）通过联接轴刚性连接，固晶臂组件（3）与纵向移动组件（2）螺丝紧固连接，从而驱动固晶臂组件（3）纵向移动及旋转运动完成晶片的固晶动作，实现快速稳定抓取及释放晶片，同时机械结构简单可靠，简化装配，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 固晶臂 纵向移动组件 转动组件 驱动 抓取 本实用新型 刚性连接 机械结构 快速稳定 螺丝紧固 完成晶片 纵向运动 联接轴 固晶 晶片 装配 释放 | ||
【主权项】：
1.一种固晶臂控制机构，其特征在于，包括固晶臂组件、纵向移动组件及转动组件，所述纵向移动组件与固晶臂组件通过螺丝锁紧连接，用于带动固晶臂组件纵向移动；所述纵向移动组件中通过偏心轴与连杆来实现纵向往复移动，所述偏心轴通过两对角轴承固定；所述转动组件与纵向移动组件通过联接轴刚性连接，用于带动固晶臂组件往返旋转运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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