[实用新型]基板清洗装置有效

专利信息
申请号: 201820959932.2 申请日: 2018-06-21
公开(公告)号: CN208555227U 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 杨金贵;刘家桦;叶日铨 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/08;B08B5/02
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种基板清洗装置,所述基板清洗装置包括:用于承载晶圆的载台、位于载台一侧的喷头、与喷头连接的喷杆以及多个供给管路,喷头具有多个喷嘴,多个供给管路均伸入到喷杆内部,且每个喷嘴至少与一条供给管路连接。本实用新型通过将现有的多个具有一个喷嘴的喷头结合成一个同时具有多个喷嘴的喷头的结构,且将多个供给管路集中设置的喷杆内部,其降低了基板清洗装置的复杂程度,同时也节省了基板清洗装置的空间。
搜索关键词: 喷头 基板清洗装置 供给管路 喷嘴 喷杆 本实用新型 载台 集中设置 晶圆 伸入 承载
【主权项】:
1.一种基板清洗装置,其特征在于,包括:用于承载基板的载台、位于所述载台一侧的喷头、与所述喷头连接的喷杆以及多个供给管路,所述喷头具有多个喷嘴,多个所述供给管路均伸入到所述喷杆内部,且每个所述喷嘴至少与一条所述供给管路连接。
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