[实用新型]基板清洗装置有效
申请号: | 201820959932.2 | 申请日: | 2018-06-21 |
公开(公告)号: | CN208555227U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 杨金贵;刘家桦;叶日铨 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B3/08;B08B5/02 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种基板清洗装置,所述基板清洗装置包括:用于承载晶圆的载台、位于载台一侧的喷头、与喷头连接的喷杆以及多个供给管路,喷头具有多个喷嘴,多个供给管路均伸入到喷杆内部,且每个喷嘴至少与一条供给管路连接。本实用新型通过将现有的多个具有一个喷嘴的喷头结合成一个同时具有多个喷嘴的喷头的结构,且将多个供给管路集中设置的喷杆内部,其降低了基板清洗装置的复杂程度,同时也节省了基板清洗装置的空间。 | ||
搜索关键词: | 喷头 基板清洗装置 供给管路 喷嘴 喷杆 本实用新型 载台 集中设置 晶圆 伸入 承载 | ||
【主权项】:
1.一种基板清洗装置,其特征在于,包括:用于承载基板的载台、位于所述载台一侧的喷头、与所述喷头连接的喷杆以及多个供给管路,所述喷头具有多个喷嘴,多个所述供给管路均伸入到所述喷杆内部,且每个所述喷嘴至少与一条所述供给管路连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司,未经德淮半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820959932.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种挂式空调清洗防护罩
- 下一篇:全自动超高压蒸汽清洗机