[实用新型]基板研磨装置有效
| 申请号： | 201820960579.X | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN208592708U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 崔东圭;林钟逸;赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开一种基板研磨装置，其可以研磨大面积的基板。基板研磨装置包括：基板移送部，其以使得基板的被研磨面朝向上部的状态移送所述基板；以及研磨模块，其设置于所述基板的上部，在与所述基板表面接触的状态下，研磨垫进行旋转及线性移动，从而对所述基板进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 基板研磨装置 研磨 基板移送部 基板表面 线性移动 研磨垫 研磨面 | ||
【主权项】：
1.一种基板研磨装置，其特征在于，其包括：基板移送部，其以使得基板的被研磨面朝向上部的状态移送所述基板；以及研磨模块，其设置于所述基板的上部，在与所述基板表面接触的状态下，研磨垫进行旋转的同时进行线性移动，从而研磨所述基板。
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