[实用新型]一种便携式晶圆测厚仪

摘要

本实用新型公开了一种便携式晶圆测厚仪，包括主体支架，所述主体支架的顶端设置有调节机构，所述调节机构包括手轮手把、连接杆、手轮、第一螺母、调节手把、调节手把连接柱和第三调节螺母，所述调节手把与所述主体支架通过所述调节手把连接柱和所述第三调节螺母旋合固定连接，所述连接杆安装在所述主体支架一侧贯穿于所述主体支架的中间位置处；通过在固定底座的下表面设计固定底座和支撑脚，避免操作的平面高低程度不同，在使用时不能调节底座平稳控制测厚仪，产生测量误差，可以通过调节支撑脚与支撑杆的倾斜度致使固定底座的下表面四个拐角位置处的支撑脚与操作面平稳，旋送第二调节螺母通过螺栓将支撑杆与支撑脚固定。

主权项

1.一种便携式晶圆测厚仪，包括主体支架（7），其特征在于：所述主体支架（7）的顶端设置有调节机构，所述调节机构包括手轮手把（1）、连接杆（2）、手轮（3）、第一螺母（4）、调节手把（5）、调节手把连接柱（12）和第三调节螺母（13），所述调节手把（5）与所述主体支架（7）通过所述调节手把连接柱（12）和所述第三调节螺母（13）旋合固定连接，所述连接杆（2）安装在所述主体支架（7）一侧贯穿于所述主体支架（7）的中间位置处，所述连接杆（2）贯穿于所述调节手把（5）的一端，且所述调节手把（5）与所述连接杆（2）通过所述第一螺母（4）旋合连接，所述连接杆（2）的顶端贯穿于所述手轮（3），所述手轮（3）与所述连接杆（2）通过螺纹旋合连接，所述手轮手把（1）与所述手轮（3）通过滚珠活动连接。