[实用新型]宽幅等离子体处理玻璃的装置有效

专利信息
申请号: 201820974822.3 申请日: 2018-06-25
公开(公告)号: CN208717166U 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 吴雪梅;张潇漫;金成刚;诸葛兰剑 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: C03C23/00 分类号: C03C23/00
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林;胡益萍
地址: 215137 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种宽幅等离子体处理玻璃的装置,包括高频高压交流等离子体电源、气体腔室、设于气体腔室外底端的高压电极和分别位于高压电极两侧的两个介质阻挡板,气体腔室上设置有至少一个进气孔和至少一个出气孔,高压电极与高频高压交流等离子体电源相连接,每个介质阻挡板的外侧端连接有第一电极,两个第一电极均与一电阻相连接,电阻与地电极相连接。本实用新型可在大气压下产生大面积等离子体辉光放电;可将第一电极之间的等离子体引出一定宽度,充分高效的进行材料表面处理,能应用于工业生产流水线,对于大气压下等离子体材料表面处理具有重要意义;可有效改善石英玻璃的水接触角,亲水性明显增加,对改变玻璃亲水性方面具有重要意义。
搜索关键词: 第一电极 高压电极 等离子体处理 交流等离子体 本实用新型 高频高压 介质阻挡 气体腔室 重要意义 亲水性 玻璃 电阻 宽幅 电源 等离子体 大面积等离子体 工业生产流水线 材料表面处理 等离子体材料 辉光放电 石英玻璃 水接触角 出气孔 地电极 进气孔 气体腔 外侧端 室外 应用
【主权项】:
1.一种宽幅等离子体处理玻璃的装置,其特征在于:包括高频高压交流等离子体电源、气体腔室、设于所述气体腔室外底端的高压电极和分别位于所述高压电极两侧的两个介质阻挡板,所述气体腔室上设置有至少一个进气孔和至少一个出气孔,所述高压电极与所述高频高压交流等离子体电源相连接,每个所述介质阻挡板的外侧端连接有第一电极,两个所述第一电极均与一电阻相连接,所述电阻与地电极相连接。
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