[实用新型]一种晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201820983758.5 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN208728121U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 傅强 | 申请（专利权）人： | 宁波舜宇光电信息有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 胡拥军;糜婧 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括承载组件以及喷淋组件，承载组件用于安装待清洗的晶圆，喷淋组件设于承载组件上方，用于喷出清洗液，承载组件具有至少一晶圆安装面，待清洗的晶圆适于沿晶圆安装面设置，晶圆安装面与喷淋组件的喷射方向不垂直，或者晶圆安装面适于转动到与喷淋组件的喷射方向不垂直的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 承载组件 喷淋组件 安装面 喷射方向 清洗装置 不垂直 种晶 清洗 本实用新型 清洗液 喷出 转动 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆清洗装置，包括承载组件以及喷淋组件，所述承载组件用于安装待清洗的晶圆，所述喷淋组件设于所述承载组件上方，用于喷出清洗液，其特征在于，所述承载组件具有至少一晶圆安装面，待清洗的晶圆适于沿所述晶圆安装面设置，所述晶圆安装面与所述喷淋组件的喷射方向不垂直，或者所述晶圆安装面适于转动到与所述喷淋组件的喷射方向不垂直的位置。
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