[实用新型]一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置有效
申请号: | 201821006647.5 | 申请日: | 2018-06-28 |
公开(公告)号: | CN208451388U | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 吴虎 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | B24B53/017 | 分类号: | B24B53/017;B24B49/16;B24B37/005 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置,包括腔室、密封腔体、轴衬、推进轴和复位弹簧,轴衬伸入密封腔体内向密封腔体充入空气,密封腔体可上下伸缩变形,推进轴的推进轴顶盖固定安装在密封腔体的底部位置,推进轴的推进轴本体一端垂直安装在柔性板上,另一端固定安装在推进轴顶盖上,复位弹簧缠绕在推进轴本体上,复位弹簧的顶端固定安装在推进轴顶盖上,另一端固定安装在腔室的内侧底部,复位弹簧上还固定安装有一压力传感器,与现有技术相比,该装置通过于复位弹簧上设置的压力传感器检测弹簧的压力值以判断柔性板的运动位置,解决了密封腔体久而变形在相同的空气压力下,无法推动柔性板至预期位置的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 推进轴 复位弹簧 密封腔体 顶盖 柔性板 研磨垫修整器 腔室 轴衬 变形 压力传感器检测 本实用新型 压力传感器 垂直安装 底部位置 空气压力 上下伸缩 预期位置 运动位置 密封腔 监控 弹簧 伸入 缠绕 体内 | ||
【主权项】:
1.一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置,其特征在于,包括一腔室、一可上下伸缩变形的密封腔体、一用于向所述密封腔体充入压缩空气的轴衬、一用于向下推动柔性板的推进轴和一用于回复所述柔性板至初始位置的复位弹簧;所述轴衬为长条结构且内部中空,所述轴衬的一端伸入至所述密封腔体内,另一端连接空气压缩设备;所述推进轴包括推进轴本体和推进轴顶盖,所述推进轴的所述推进轴顶盖固定安装在所述密封腔体的底部位置;所述推进轴的所述推进轴本体的一端垂直安装在所述柔性板上,另一端固定设置在所述推进轴顶盖上;所述复位弹簧缠绕在所述推进轴本体上,所述复位弹簧的顶端固定安装在所述推进轴顶盖上,所述复位弹簧的另一端固定安装在所述腔室的内侧底部;于所述柔性板上固定安装有一研磨盘;于所述复位弹簧上还固定安装有一压力传感器。
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