[实用新型]镀膜系统有效
| 申请号： | 201821007371.2 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208617974U | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 姚立柱;张津岩;杨曦曦;袁世成;张文 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 邢惠童 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种镀膜系统，属于镀膜技术领域。所述镀膜系统包括镀膜腔室、控制设备、传输设备、第一基板检测设备和第二基板检测设备，其中：所述控制设备分别与所述传输设备、所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备电性连接；所述第一基板检测设备安装在所述镀膜腔室的入口位置，所述第二基板检测设备安装在所述镀膜腔室的出口位置；所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于所述传输设备的载板所在的平面。采用本实用新型，控制设备可以准确控制承载基板的载板停止在预设位置处，从而，可以准确控制镀膜腔室的入口阀门和出口阀门的关闭与开启，进而有效避免了入口阀门或者出口阀门压碎基板的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 检测设备 第二基板 第一基板 镀膜腔室 传输设备 镀膜系统 控制设备 本实用新型 出口阀门 入口阀门 准确控制 载板 信号传输线路 承载基板 出口位置 电性连接 镀膜技术 入口位置 预设位置 基板 压碎 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统包括镀膜腔室、控制设备、传输设备、第一基板检测设备和第二基板检测设备，其中：所述控制设备分别与所述传输设备、所述第一基板检测设备、所述第二基板检测设备电性连接；所述第一基板检测设备安装在所述镀膜腔室的入口位置，所述第二基板检测设备安装在所述镀膜腔室的出口位置；所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于所述传输设备的载板所在的平面。
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