[实用新型]通用载板有效
| 申请号： | 201821011113.1 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN208781804U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 李琳琳 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683;H01L31/18;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 石晓峰;周放 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种通用载板，包括：主载板和副载板，其中，所述主载板具有多个镂空区域，每个所述镂空区域四周具有边框，在所述边框的内壁上形成承载托；所述副载板具有多个，每个所述副载板套设在一个所述镂空区域之中，每个所述副载板具有外框和内框，所述外框搭接在所述承载托上，所述内框用于承载硅片。本实用新型的通用载板，具有主载板和副载板，主载板具有固定的镂空区域以及边框，副载板的外框搭接在边框上，内框的尺寸则可以搭接不同规格的硅片，实现了多种尺寸硅片的同时加工制备。 | ||
| 搜索关键词： | 载板 边框 镂空区域 主载板 硅片 搭接 内框 外框 承载 通用 本实用新型 固定的 内壁 制备 加工 | ||
【主权项】：
1.一种通用载板，其特征在于，包括：主载板(1)和副载板，其中，所述主载板(1)具有镂空区域(3)，所述镂空区域(3)四周具有边框(2)，在所述边框(2)朝向所述镂空区域(3)的侧壁上形成承载托(4)；所述副载板套设在所述镂空区域(3)之中，所述副载板具有外框(5)和内框(9)，所述外框(5)搭接在所述承载托(4)上，所述内框(9)用于承载硅片(0)。
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