[实用新型]一种高产能的管式炉上下料系统

摘要

本实用新型公开一种高产能的管式炉上下料系统，包括上料装置、下料装置、机械手；所述传送带装置用于将硅片在导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置之间传送，且传送带装置的一端可从中转花篮装置的第一侧伸缩进出其内部；所述机械手用于从上料装置或下料装置的中转花篮装置第一侧的相对一侧插入，一次性将若干中转花篮装置中的硅片取出上料或将硅片放入若干中转花篮装置内下料。本实用新型相比单片上料，该系统结构简单、效率高、成本低、占用空间小，更适合高产能炉管型设备使用。

主权项

1.一种高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，包括上料装置、下料装置、机械手；所述上料装置、下料装置均包括一导片花篮装置、一缓存花篮装置、若干中转花篮装置、一传送带装置；所述上料装置或下料装置中的导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置分布在第一方向一条直线上；所述传送带装置用于将硅片在导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置之间传送，且传送带装置的一端可从中转花篮装置的第一侧伸缩进出其内部；所述机械手用于从上料装置或下料装置的中转花篮装置第一侧的相对一侧插入，一次性将若干中转花篮装置中的硅片取出上料或将硅片放入若干中转花篮装置内下料。