[实用新型]一种靶材背板结构

摘要

本实用新型公开了一种靶材背板结构，其结构包括背板结构、承接板、散热铝材和冷媒组件，所述背板结构上设有承接板，所述承接板的下方设有散热铝材，所述散热铝材的下方设有冷媒组件，所述承接板通过散热铝材与冷媒组件固定连接，所述冷媒组件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，该一种靶材背板结构，可通过在承接板的下方设置一组散热铝材，再借由底板上的主侧板、副侧板支撑之后，内部的铝片组会与承接板进行接触，对靶材表面产生的温度进行传递，可通过在散热铝材的下方设置一个冷媒组件，冷媒组件在上方冷媒板的表面上设置蛇形弯曲的冷媒管，可对冷媒进行传递，便于对上方散热铝材吸收的热量进行交换，结构简单，易于实现。

主权项

1.一种靶材背板结构，其结构包括背板结构(1)、承接板(3)、散热铝材(5)和冷媒组件(10)，其特征在于：所述背板结构(1)上设有承接板(3)，所述承接板(3)的下方设有散热铝材(5)，所述散热铝材(5)的下方设有冷媒组件(10)，所述承接板(3)通过散热铝材(5)与冷媒组件(10)固定连接；所述冷媒组件(10)包括冷媒板(12)、冷媒管(13)、冷媒入口(14)、冷媒出口(15)，所述冷媒组件(10)上设有冷媒板(12)，所述冷媒板(12)的表面设有冷媒管(13)，所述冷媒管(13)通过冷媒板(12)与冷媒组件(10)固定连接，所述冷媒管(13)的两端分别固定设有冷媒入口(14)、冷媒出口(15)。