[实用新型]一种晶片装载系统

摘要

本实用新型涉及太阳能薄膜加工技术领域，尤其涉及一种晶片装载系统，进栏具输送装置用于将装有料盘的栏具由进栏具工位输送至料盘栏具分离工位上，第一搬运装置用于将空栏具由料盘栏具分离工位移至空栏具工位，第二搬运装置用于将栏具中装有晶片的料盘由料盘栏具分离工位移至料盘工位，再将空料盘由料盘工位移至空料盘工位，并将空料盘由空料盘工位移至空栏具工位上的空栏具中，第三搬运装置用于将料盘中的晶片由料盘工位移至装载花篮工位的花篮内，出栏具输送装置用于将装有空料盘的栏具由空栏具工位输送至出栏具工位并移出。提高了设备的可靠性和稳定性，实现从栏具进入到流出的全自动化，传输效率和精度高。

主权项

1.一种晶片装载系统，其特征在于：包括栏具输送模块、料盘搬运模块和晶片搬运模块，所述栏具输送模块包括进栏具输送装置、出栏具输送装置和第一搬运装置，所述料盘搬运模块包括第二搬运装置，所述晶片搬运模块包括第三搬运装置，所述进栏具输送装置用于将装有料盘的栏具由进栏具工位输送至料盘栏具分离工位上，所述第一搬运装置用于将空栏具由所述料盘栏具分离工位移至空栏具工位，所述第二搬运装置用于将栏具中装有晶片的料盘由所述料盘栏具分离工位移至料盘工位，再将空料盘由所述料盘工位移至空料盘工位，并将空料盘由所述空料盘工位移至所述空栏具工位上的空栏具中，所述第三搬运装置用于将料盘中的晶片由所述料盘工位移至装载花篮工位的花篮内，所述出栏具输送装置用于将装有空料盘的栏具由所述空栏具工位输送至出栏具工位并移出。