[实用新型]一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备

摘要

本实用新型公开了一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备，包括抽气装置，所述抽气装置的下方设有槽体，所述槽体包括第一槽体和第二槽体，所述抽气装置设置在第一槽体和第二槽体的上壁之间，所述抽气装置包括抽气主体和进风罩，所述进风罩的内侧设有十块叶片，所述进风罩穿过槽体上壁并延伸至槽体内部，所述抽气装置的抽气主体外侧设有固定板，所述固定板设置在抽气主体与槽体上表面交接处，所述固定板的两侧通过螺栓分别固定安装在抽气主体和槽体上表面，所述槽体下方设有传动机构，所述传动机构上侧放置有加工元件，本实用新型有效防止了制造工件产生的反应气体泄漏到下一槽体，提高了工件的加工环境，保证了产品的质量。

主权项

1.一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备，包括抽气装置(1)，其特征在于，所述抽气装置(1)的下方设有槽体(2)，所述槽体(2)包括第一槽体(3)和第二槽体(4)，所述抽气装置(1)设置在第一槽体(3)和第二槽体(4)的上壁之间，所述抽气装置(1)包括抽气主体(5)和进风罩(6)，所述进风罩(6)的内侧设有十块叶片(7)，所述叶片(7)通过转轴(8)转动连接在进风罩(6)的两侧内壁上，所述叶片(7)固定安装在转轴(8)上，所述叶片(7)的一端设有条形通槽(9)，所述叶片(7)一端端部之间设有圆球(10)，所述圆球(10)之间通过弹力绳(11)进行连接，所述弹力绳(11)穿过条形通槽(9)连接在相邻圆球(10)的表面，所述弹力绳(11)的两端分别连接在进风罩(6)的内壁两侧，所述进风罩(6)穿过槽体(2)上壁并延伸至槽体(2)内部，所述抽气装置(1)的抽气主体外侧设有固定板(12)，所述固定板(12)设置在抽气主体(5)与槽体(3)上表面交接处，所述固定板(12)的两侧通过螺栓分别固定安装在抽气主体(5)和槽体(3)上表面，所述抽气主体(5)上端设有排气管(13)，所述槽体(3)下方设有传动机构(14)，所述传动机构(14)上侧放置有加工元件(15)。