[实用新型]单晶硅切片机砂浆引流装置

摘要

一种单晶硅切片机砂浆引流装置，属于晶体硅生产设备技术领域，本装置包括两个结构相同的引流槽，两个引流槽水平延伸设置在工作台的两侧，以在晶棒切割时对砂浆起到引流作用，避免在晶棒切割过程中砂浆速度过快而对硅面造成损伤，引流槽包括第一引流面、第二引流面、第三引流面和第四引流面，第一引流面、第二引流面、第三引流面和第四引流面依次首尾连接，围成方体形空腔，第一引流面固定在机器的加工台上，第二引流面将飞溅的砂浆遮挡，第三引流面是一个砂浆流淌的平面，第二引流面、第三引流面和第四引流面构成一个槽体将砂浆引流到线面两端，避免了飞溅的砂浆在线网上再次加速，对硅片造成伤害。

主权项

1.一种单晶硅切片机砂浆引流装置，其特征在于：引流装置包括两个结构相同的引流槽，两个引流槽水平延伸设置在工作台的两侧，与晶棒两侧的砂浆罐道配合设置，在晶棒切割时对砂浆起到引流作用，引流槽包括第一引流面、第二引流面、第三引流面和第四引流面，第一引流面、第二引流面、第三引流面和第四引流面依次首尾连接，围成方体形空腔，第一引流面和第三引流面的大小相同，且上下正对设置，第二引流面与第四引流面左右正对设置，且第四引流面的高度小于第二引流面的高度，以使第四引流面与第一引流面之间形成缺口，且引流槽的前后端面开口，在晶棒切割时，砂浆自第四引流面的缺口进入至引流槽内，再经引流槽的前后端口将砂浆引流出。