[实用新型]一种视窗结构及蒸发台有效
| 申请号： | 201821089640.4 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN208501084U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 王志达;袁守良;邵旭 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李进 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种视窗结构及蒸发台，属于半导体生产领域。视窗结构包括遮光筒、遮光挡板、遮光镜以及视窗。遮光筒为由第一端至第二端延伸而成的具有中空通道的柱形结构。非透明的遮光挡结合在遮光筒内。遮光挡板具有能够被用于观察蒸发台内部的观察孔。遮光镜以能够转动的方式沿遮光筒的径向布置且邻近遮光挡板。遮光镜定义有能够覆盖观察孔的多个覆盖部，遮光镜被构造来通过转动而改变以多个覆盖部中的任意一个覆盖观察孔。视窗被构造来封闭遮光筒的中空通道。视窗结合在遮光筒的第一端，且遮光镜位于遮光挡板和视窗之间。视窗结构能够使得蒸发台的蒸镀过程具有更好的可控性，可以对蒸发台内的设备进行适时的观察，以减少设备的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 遮光筒 遮光镜 蒸发台 视窗结构 遮光挡板 视窗 观察孔 中空通道 覆盖 第一端 转动 减少设备 径向布置 柱形结构 非透明 可控性 观察 遮光 蒸镀 半导体 邻近 封闭 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种视窗结构，用于蒸发台，其特征在于，包括：被构造来安装于所述蒸发台的遮光筒，所述遮光筒为由第一端至第二端延伸而成的具有中空通道的柱形结构，所述第二端位于所述蒸发台内部；非透明的遮光挡板，所述遮光挡板结合在所述遮光筒内，所述遮光挡板具有能够被用于观察所述蒸发台内部的观察孔；透明的遮光镜，所述遮光镜以能够转动的方式沿所述遮光筒的径向布置且邻近所述遮光挡板，所述遮光镜定义有能够覆盖所述观察孔的多个覆盖部，所述遮光镜被构造来通过转动而改变以所述多个覆盖部中的任意一个覆盖所述观察孔；被构造来封闭所述遮光筒的所述中空通道的透明的视窗，所述视窗结合在所述遮光筒的所述第一端，且所述遮光镜位于所述遮光挡板和所述视窗之间。
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