[实用新型]一种防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置有效
申请号: | 201821090406.3 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN208753272U | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
地址: | 239300 安徽省滁州市天长*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置,包括:水槽、托盘组、以及用于提供高压气流的高压气流供给机构,其中:水槽的内侧壁上设有相对布置的第一滑槽、第二滑槽;托盘组包括至少一个托盘,且托盘的一侧设有第一滑块和远离第一滑块的一侧的第二滑块;托盘包括底板和若干个侧板,底板为镂空结构,底板的下方设有限位柱,各侧板均固定在底板的上方并在任意相邻的两个侧板之间预留间距以形成卡槽;各侧板的内部均设有夹腔,且各侧板上的夹腔通过管路彼此连通;任意相邻的两个侧板相互靠近的一侧侧壁上均设有与其夹腔连通的气孔;高压气流供给机构与所述管路可拆卸连接。本实用新型可以有效提高工件的清洗效果,且无清洗死角。 | ||
搜索关键词: | 侧板 底板 托盘 高压气流 夹腔 水槽 本实用新型 太阳能电池 第一滑块 供给机构 清洁死角 清洗装置 晶体硅 托盘组 滑槽 连通 可拆卸连接 第二滑块 清洗死角 清洗效果 相对布置 镂空结构 内侧壁 侧壁 卡槽 位柱 预留 | ||
【主权项】:
1.一种防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置,其特征在于,包括:水槽(1)、托盘组、以及用于提供高压气流的高压气流供给机构(2),其中:水槽(1)的内侧壁上设有竖直延伸的第一滑槽和与第一滑槽相对布置的第二滑槽;托盘组包括至少一个托盘(3),且托盘(3)的一侧设有用于卡入第一滑槽内的第一滑块,其远离第一滑块的一侧设有用于卡入第二滑槽内的第二滑块;托盘(3)包括底板(31)和若干个侧板(32),底板(31)为镂空结构,底板(31)的下方设有竖直布置并与其固定的限位柱(4),各侧板(32)均固定在底板(31)的上方并在任意相邻的两个侧板(32)之间预留间距以形成供工件放入的卡槽;各侧板(32)的内部均设有夹腔(a),且各侧板(32)上的夹腔(a)通过管路(5)彼此连通;任意相邻的两个侧板(32)相互靠近的一侧侧壁上均设有与其夹腔(a)连通的气孔(b);高压气流供给机构(2)与所述管路(5)可拆卸连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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