[实用新型]一种单晶硅片移转支架有效
| 申请号： | 201821097565.6 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN208376845U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 何翠翠;韩刚;孙鹏 | 申请（专利权）人： | 锦州神工半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/10 | 分类号： | B62B3/10 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 李烨 |
| 地址： | 121001 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅片移转支架。包括：托板；托架，其可滑动地设置在所述托板的上方；以及多个弧形下支撑架，其沿轴向均布设置在所述托架上，用于为单晶硅片提供向上的支撑力；多组倒U形侧支撑架，其分别设置在所述弧形下支撑架的前侧和后侧，用于为单晶硅片提供侧向的支撑力；石英辊，其分别设置在所述倒U形侧支撑架的顶部，以及弧形下支撑架的左右两端。本实用新型的有益效果是：能够稳定支撑单晶硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅片 下支撑架 本实用新型 侧支撑架 支撑力 倒U形 托板 托架 移转 支架 侧向 可滑动地 稳定支撑 轴向均布 石英辊 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅片移转支架，其特征在于，包括：托板；托架，其可滑动地设置在所述托板的上方；以及多个弧形下支撑架，其沿轴向均布设置在所述托架上，用于为单晶硅片提供向上的支撑力；多组倒U形侧支撑架，其分别设置在所述弧形下支撑架的前侧和后侧，用于为单晶硅片提供侧向的支撑力；石英辊，其分别设置在所述倒U形侧支撑架的顶部，以及弧形下支撑架的左右两端；其中，所述倒U形侧支撑架与水平面呈60°夹角，每组倒U形侧支撑架由高倒U形侧支撑架和低倒U形侧支撑架组成，所述高倒U形侧支撑架位于弧形下支撑架的后侧，低倒U形侧支撑架位于弧形下支撑架的前侧，所述高倒U形侧支撑架的高度为单晶硅片直径的2/3～3/4；所述低倒U形侧支撑架的高度为单晶硅片直径的1/3～1/2。
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