[实用新型]一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉有效
| 申请号： | 201821104899.1 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN208422865U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 雷小龙;李龙;李富林 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67;H01L21/22;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 邹敏菲;吴静宜 |
| 地址： | 610299 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，属于太阳能电池制造技术领域。包括净化台、石英舟、炉体柜，以及设置在净化台上的由控制机构控制、检测需进入石英炉管的SIC桨是否发生沉降的拖舟保护装置，以及设置在导轨上与桨头夹持支撑机构配合、用于检测拖舟保护装置检测的沉降信号是否有效的检测模块。桨头夹持支撑机构夹持着承载有石英舟的SIC桨在导轨上滑动，通过拖舟保护装置检测到的信号以及检测模块检测到的信号共同判断SIC桨是否沉降，以避免因SIC桨沉降而导致的撞坏石英炉管、撞坏石英舟、硅片因撞击破损、异常停机风险，借助扩散炉原有装置完成新功能，投入低且实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 沉降 扩散炉 石英舟 检测 保护装置检测 夹持支撑机构 检测模块 石英炉管 导轨 桨头 保护装置 本实用新型 太阳能电池 滑动 净化台 新功能 硅片 夹持 炉体 停机 破损 承载 净化 配合 制造 | ||
【主权项】：
1.一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，包括净化台(11)、石英舟(10)、炉体柜(13)；净化台(11)包括导轨(3)、在导轨上滑动的桨头夹持支撑机构、桨头夹持支撑机构夹持的用于承载石英舟(10)的SIC桨(9)；炉体柜(13)包括石英炉管(1)、炉门(2)，以及控制炉门(2)开启的控制机构，其特征在于，包括设置在净化台(11)上由控制机构控制的、检测需进入石英炉管(1)的SIC桨(9)是否发生沉降的拖舟保护装置，以及设置在导轨(3)上与桨头夹持支撑机构配合、用于检测拖舟保护装置检测的沉降信号是否有效的检测模块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
