[实用新型]一种镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种镀膜机，具有至少两个滚筒，且滚筒的直径的取值范围在50mm至400mm之间，具有该直径的滚筒的侧壁可以很好的贴合现阶段常用的3D曲面玻璃，不会使得3D曲面玻璃明显突出滚筒的侧壁，从而实现在3D曲面玻璃表面镀厚度均匀的膜层。上述滚筒马达会使滚筒旋转以通过靶材以及ICP对该滚筒表面贴附的3D曲面玻璃进行镀膜，同时上述滚筒载盘可以依次将滚筒运输到预设位置，从而可以实现在一次镀膜过程中对大量的3D曲面玻璃进行镀膜，以解决由于减少滚筒直径而带来的单次镀膜产能低下的问题。

主权项

1.一种镀膜机，其特征在于，所述镀膜机包括至少两个滚筒、滚筒载盘、滚筒马达、靶材和ICP；所述滚筒的侧壁用于放置3D曲面玻璃，所述滚筒的直径的取值范围为：50mm至400mm，包括端点值；所述滚筒与所述滚筒载盘固定连接，所述滚筒载盘用于将任一所述滚筒移动至预设位置；所述滚筒马达用于使位于所述预设位置的滚筒沿该滚筒周向旋转；所述靶材的输出口朝向所述预设位置，用于向位所述预设位置的滚筒侧壁的3D曲面玻璃表面沉积粒子；所述ICP的输出口朝向所述预设位置，用于将沉积在所述3D曲面玻璃表面的粒子氧化。