[实用新型]硅片间距转换系统

摘要

本实用新型公开了一种硅片间距转换系统，包括机械手组件、水平收载机构和输送组件，所述水平收载机构包括升降组件和连接在所述升降组件上的顶板，所述升降组件可带动所述顶板上升或下降，在所述顶板底部竖直设置有第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板之间设置有硅片插槽；所述输送组件包括输送带，所述输送带可与所述硅片插槽对接。所述硅片间距转换系统，实现了不同工序之间硅片间距的高效转换，其机械手组件抓取前道工序硅片承载装置上的硅片组，并使该硅片组处于水平方向后，送入至所述水平收载机构上，该水平收载机构将该硅片组水平收取，硅片经所述输送组件逐片传送至下道工序的硅片承载装置上，以备下道工序加工。

主权项

1.一种硅片间距转换系统，其特征在于，包括机械手组件、水平收载机构和输送组件，其中，所述机械手组件用于将硅片生产中前道加工工序承载装置上的下料硅片组抓取并使所述硅片组处于水平方向，及将处于水平方向的所述硅片组送入至所述水平收载机构上；所述水平收载机构用于收取所述机械手组件送入的硅片组；所述输送组件用于将所述水平收载机构上的硅片逐片输送至后道加工工序的承载装置上；所述水平收载机构包括升降组件和连接在所述升降组件上的顶板，所述升降组件可带动所述顶板上升或下降，在所述顶板底部竖直设置有第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板可相互靠近或相互远离；在所述第一侧板靠近所述第二侧板的一侧上竖直并排设有多个第一齿片，两个相邻的第一齿片之间限定出一个第一齿槽，在所述第二侧板靠近所述第一侧板的一侧上竖直并排设有多个第二齿片，两个相邻的第二齿片之间限定出一个第二齿槽，相对设置的每两个第一齿槽和第二齿槽之间限定出一个硅片插槽，每个所述硅片插槽可容纳一片硅片；所述输送组件包括输送带，所述输送带可与所述硅片插槽对接。