[实用新型]一种LED芯片蒸镀机有效
| 申请号： | 201821144093.5 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN208472181U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 吴娟 | 申请（专利权）人： | 广州米珈尼电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/52 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 王霞 |
| 地址： | 510000 广东省广州市南沙区丰泽东路106*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于LED芯片制造设备技术领域，公开了一种LED芯片蒸镀机，包括真空室本体以及室门，底座设于真空室本体的底部，电子枪安装在底座上，导磁片位于电子枪上方，坩埚位于电子枪上侧，伞架位于真空室本体上部；真空室本体上端安装有电机，电机的轴端与伞架相连；真空室本体的侧壁上开有与真空泵连通的气窗；室门上设有观察窗，观察窗内固定设有第一玻璃板，第一玻璃板的一侧设有卡环，卡环和第一玻璃板之间放置有第二玻璃板。通过挤压两个手持部，使得卡环收缩，然后将卡环从观察窗中取出，再将第二玻璃板取出后更换新的玻璃板，最后将卡环重新放入观察窗。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃板 真空室本体 卡环 观察窗 电子枪 蒸镀机 伞架 底座 电机 取出 本实用新型 制造设备 导磁片 内固定 真空泵 上端 侧壁 放入 气窗 室门 轴端 坩埚 连通 挤压 收缩 | ||
【主权项】：
1.一种LED芯片蒸镀机，其特征在于：包括真空室本体(1)以及与真空室本体(1)转动连接的室门(2)，真空室本体(1)内设有底座(3)、电子枪(4)、导磁片(5)、坩埚(6)和伞架(7)，底座(3)设于真空室本体(1)的底部，电子枪(4)安装在底座(3)上，导磁片(5)位于电子枪(4)上方，坩埚(6)位于电子枪(4)上侧，伞架(7)位于真空室本体(1)上部；真空室本体(1)上端安装有电机(8)，电机(8)的轴端与伞架(7)相连；真空室本体(1)的侧壁上开有与真空泵连通的气窗(9)；室门(2)上设有至少一个圆形的观察窗(10)，观察窗(10)内固定设有第一玻璃板(11)，第一玻璃板(11)朝向真空室本体(1)的一侧设有具有缺口的卡环(12)，卡环(12)和第一玻璃板(11)之间放置有第二玻璃板(13)。
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