[实用新型]一种单晶炉副炉分离结构

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉副炉分离结构，属于硅晶制造领域，旨在提供一种可实现副炉室和隔离阀室共同或单独分离的单晶炉，其技术方案要点是，包括底座、主炉室和副炉室，所述主炉室顶部设有炉盖，所述炉盖与副炉室底部之间连通设置有隔离阀室，所述副炉室与隔离阀室之间设有离合结构，所述离合结构包括下级法兰和上级法兰，所述下级法兰表面圆周阵列有若干一级螺纹孔，所述一级螺纹孔内螺纹连接有一级定位螺栓，所述上级法兰上开设有若干供一级定位螺栓穿过的一级腰形孔，所述一级定位螺栓顶部螺纹连接有与上级法兰表面抵接的一级定位螺母，若干所述一级腰形孔的一端扩大并形成供一级定位螺母穿过的扩张通孔。本实用新型适用于单晶炉改进。

主权项

1.一种单晶炉副炉分离结构，包括底座(1)、主炉室(2)和副炉室(3)，所述主炉室(2)置于底座(1)上，所述主炉室(2)底部设有下级传动装置(21)，所述主炉室(2)顶部设有炉盖(22)，所述炉盖(22)与副炉室(3)底部之间连通设置有隔离阀室(4)，所述隔离阀室(4)内设有主炉室隔离阀(41)，所述副炉室(3)顶部设有上级传动装置(31)，所述副炉室(3)炉体上设有抬升旋转装置(32)，其特征在于：所述副炉室(3)与隔离阀室(4)之间设有离合结构(5)，所述离合结构(5)包括下级法兰(52)和上级法兰(51)，所述下级法兰(52)与隔离阀室(4)顶部连接，所述下级法兰(52)表面周沿圆周阵列有若干一级螺纹孔(521)，所述一级螺纹孔(521)内螺纹连接有一级定位螺栓(522)，所述上级法兰(51)与副炉室(3)底部连接，所述上级法兰(51)上开设有若干供一级定位螺栓(522)穿过的一级腰形孔(511)，所述一级定位螺栓(522)顶部螺纹连接有与上级法兰(51)表面抵接的一级定位螺母(523)，若干所述一级腰形孔(511)的一端扩大并形成供一级定位螺母(523)穿过的扩张通孔(512)。