[实用新型]一种晶圆移动机械手

摘要

本实用新型公开了一种晶圆移动机械手，由软件和控制器控制其移动轨迹，包括：固定支架；升降驱动机构，升降驱动机构安装在述固定支架上；手臂驱动机构，手臂驱动机构与固定支架滑动连接，并与升降驱动机构传动连接；旋转驱动机构，旋转驱动机构设在固定支架中，与手臂驱动机构转动连接；执行机构，执行机构包括移动主臂和移动副臂；移动主臂一端可枢转的连接在手臂驱动机构的上端，移动主臂的另一端与移动副臂的连接端旋转连接，移动副臂的自由端安装有晶圆吸盘组件。本实用新型动力直接从驱动电机发出，只经过一级同步带的减速，减少了中间动力传递的过程，降低了整体结构的复杂程度与整体重量，提高机械手的定位精度，传递效率。

主权项

1.一种晶圆移动机械手，其特征在于，包括：固定支架(1)；升降驱动机构(2)，所述升降驱动机构(2)安装在所述固定支架(1)上；手臂驱动机构(3)，所述手臂驱动机构(3)与所述固定支架(1)滑动连接，并与所述升降驱动机构(2)传动连接；旋转驱动机构(4)，所述旋转驱动机构(4)设在所述固定支架(1)中，且与所述手臂驱动机构(3)传动连接；执行机构(5)，所述执行机构(5)包括移动主臂(51)和移动副臂(52)；所述移动主臂(51)一端与所述手臂驱动机构(3)的输出端传动连接，所述移动主臂(51)的另一端与所述移动副臂(52)的连接端传动连接，所述移动副臂(52)上靠近其自由端的位置上安装晶圆吸盘组件。