[实用新型]加热装置以及镀膜设备有效
| 申请号： | 201821183744.1 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN209162179U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 孙明;王雪戈 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54;C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种加热装置，包括加热板，具有多个相互独立的加热分区；加热组件，设置于所述加热板，用于对所述多个相互独立的加热分区分别进行温度控制；以及可移动测温组件，能够相对于所述加热板进行移动，用于监测所述加热板不同位置的温度。本实用新型还涉及一种包括所述加热装置的镀膜设备。所述加热装置能够对衬底进行均匀地加热。 | ||
| 搜索关键词： | 加热装置 加热板 加热 本实用新型 镀膜设备 分区 测温组件 加热组件 可移动 衬底 监测 移动 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置，其特征在于，包括：加热板(110)，具有多个相互独立的加热分区(140)；加热组件(120)，设置于所述加热板(110)，用于对所述多个相互独立的加热分区(140)分别进行温度控制；以及可移动测温组件(130)，能够相对于所述加热板(110)进行移动，用于监测所述加热板(110)不同位置的温度。
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