[实用新型]带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器有效
| 申请号： | 201821210583.0 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208904391U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 王倩;李少华;赵江山;周翊;吴劲松;辛茗;江锐;杨军红 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G02B7/00;G02B27/42;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括棱镜组，用于将放电腔荧光进行反射，产生反射荧光；光电二极管，用于接收所述反射荧光，并对反射荧光进行响应；光示波器，与所述光电二极管连接，用于观测光电二极管信号强度；角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，当所述光电二极管信号强度最强时，完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。此外，还提供一种准分子激光器。本实用新型解决了线宽压窄模块与腔体对准的问题，通过该对准装置，可实现线宽压窄模块的快速安装与更换，在保证光谱输出特性的条件下实现最大能量输出。 | ||
| 搜索关键词： | 线宽 荧光 反射 对准装置 光电二极管信号 准分子激光器 本实用新型 光电二极管 放电腔 对准 角度调节装置 光谱输出 光示波器 快速安装 最大能量 棱镜组 腔体 观测 输出 响应 保证 | ||
【主权项】：
1.一种带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，包括：棱镜组，用于将放电腔荧光进行反射，产生反射荧光；光电二极管，用于接收所述反射荧光，并对反射荧光进行响应；光示波器，与所述光电二极管连接，用于观测光电二极管信号强度；角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，当所述光电二极管信号强度最强时，完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。
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