[实用新型]一种多工位集成电路熔丝修调测试系统有效
| 申请号： | 201821234593.8 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN208655575U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王萃东;常兵;施明明;齐和峰;赵健 | 申请（专利权）人： | 江苏七维测试技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 赵海波;曹键 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及的一种多工位集成电路熔丝修调测试系统，其特征在于它包括测试机(1)、继电器控制位转换板(2)、熔丝板(3)以及探针台(4)，探针台(4)上设置有探针卡(5)，探针卡(5)上的探针向下与晶圆(6)接触，对晶圆(6)进行测试与熔丝作业；继电器控制位转换板(2)上的译码器将测试机(1)转换出更多的继电器控制位，每个继电器控制位分别连接于熔丝板(3)上的继电器用于控制探针卡(5)上的多个熔丝探针。本实用新型一种多工位集成电路熔丝修调测试系统，使得其用于测试和修调熔丝数量较多的集成电路芯片时，节约了成本、降低了前序工作难度和工作量，能够在后续的测试过程中提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 熔丝 继电器控制 测试系统 多工位 探针卡 集成电路 本实用新型 测试机 探针台 转换板 晶圆 继电器 译码器 集成电路芯片 测试 测试过程 工作难度 工作效率 熔丝探针 探针 工作量 节约 转换 | ||
【主权项】：
1.一种多工位集成电路熔丝修调测试系统，其特征在于它包括测试机(1)、继电器控制位转换板(2)、熔丝板(3)以及探针台(4)，探针台(4)上设置有探针卡(5)，探针卡(5)上的探针向下与晶圆(6)接触，对晶圆(6)进行测试与熔丝作业；继电器控制位转换板(2)上的译码器将测试机(1)转换出更多的继电器控制位，每个继电器控制位分别连接于熔丝板(3)上的继电器用于控制探针卡(5)上的多个熔丝探针。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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