[实用新型]一种晶圆芯片检测设备有效
| 申请号： | 201821247947.2 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN208596118U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 徐旺祥;秦可勇;李红兵;高晖;刘滨;张浩;冯健德 | 申请（专利权）人： | 江苏阿瑞斯智能设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种晶圆芯片检测设备。该晶圆芯片检测设备包括：图像采集器、位置调节器、控制器和处理器；所述控制器与所述位置调节器连接，所述处理器与所述图像采集器连接；所述控制器用于向所述位置调节器发送位置控制指令；所述位置调节器用于根据所述位置控制指令调节所述图像采集器与晶圆的相对位置；所述图像采集器用于采集所述晶圆设置有芯片的表面的图像；所述处理器用于根据所述图像确定晶圆表面的芯片信息。本实用新型的方案提高了晶圆表面芯片的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 图像采集器 位置调节器 控制器 处理器 芯片检测设备 本实用新型 晶圆表面 晶圆 种晶 芯片 位置控制指令 发送位置 检测设备 晶圆芯片 控制指令 图像确定 芯片信息 采集 图像 检测 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆芯片检测设备，其特征在于，包括：图像采集器、位置调节器、控制器和处理器；所述控制器与所述位置调节器连接，所述处理器与所述图像采集器连接；所述控制器用于向所述位置调节器发送位置控制指令；所述位置调节器用于根据所述位置控制指令调节所述图像采集器与晶圆的相对位置；所述图像采集器用于采集所述晶圆设置有芯片的表面的图像；所述处理器用于根据所述图像确定晶圆表面的芯片信息。
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