[实用新型]静电式气浮平台有效
| 申请号： | 201821257961.0 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN208716401U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 陈裕民 | 申请（专利权）人： | 御杰科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G54/00 | 分类号： | B65G54/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 关宇辰 |
| 地址： | 中国台湾新竹县竹东*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种静电式气浮平台，用以供一基板浮在该平台上方，包括一基座、以及一静电结构，基座具有一工作表面，且工作表面上设有多个气浮孔，静电结构分布设置于工作表面上并裸露出各气浮孔；其中，各气浮孔用以对所述基板提供正向力，而静电结构则于通电产生静电并对所述基板提供由静电造成的负向力。借由静电吸力形成的负向力而与正向力对所述基板产生的浮力作平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 工作表面 静电结构 气浮孔 气浮平台 静电 静电式 正向力 负向 分布设置 静电吸力 浮力 通电 平衡 | ||
【主权项】：
1.一种静电式气浮平台，用以供一基板浮在平台上方，其特征在于，包括：一基座，具有一工作表面，且该工作表面上设有多个气浮孔；以及一静电结构，设置于该工作表面上并裸露这些气浮孔；其中，这些气浮孔用以对所述基板提供正向力，而该静电结构则于通电产生静电并对所述基板提供由静电造成的负向力。
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