[实用新型]一种板式PECVD的自动上料设备

摘要

本实用新型公开了一种板式PECVD的自动上料设备，包括满料盒装载与空料盒排出机构、料盒升降机构、平移升降机构、硅片缓冲料盒、红光区、放片区，四工位抓手、四工位机器人、载板升降机构，所述满料盒装载与空料盒排出机构由满料盒装载段和空料盒排出段组成，满料盒装载与空料盒排出机构通过料盒升降机构与平移升降机构连接，平移升降机构前端预设硅片缓冲料盒，平移升降机构和红光区设置在放片区两侧，四工位抓手设置在红光区上方，四工位机器人设置在放片区上方。本实用新型可以将放置于料盒中的待镀膜硅片快速、准确的转移至载板上，提升上料速率，降低操作员的劳动强度和操作难度，实现板式PECVD上料的自动化、高效率。

主权项

1.一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：包括满料盒装载与空料盒排出机构(1)、料盒升降机构(2)、平移升降机构(3)、硅片缓冲料盒(4)、红光区(5)、放片区(6)，四工位抓手(7)、四工位机器人(8)、载板升降机构(9)，所述满料盒装载与空料盒排出机构(1)由两组设置在设备两侧的满料盒装载段(11)和空料盒排出段(12)组成，所述空料盒排出段(12)设置在满料盒装载段(11)上方，所述满料盒装载与空料盒排出机构(1)通过料盒升降机构(2)与平移升降机构(3)连接，所述平移升降机构(3)前端预设硅片缓冲料盒(4)，所述放片区(6)设置在载板升降机构(9)上，所述平移升降机构(3)和红光区(5)设置在放片区(6)两侧，所述四工位抓手(7)设置在红光区(5)上方，所述四工位机器人(8)设置在放片区(6)上方。