[实用新型]自清扫真空管路系统

摘要

本实用新型提供了一种自清扫真空管路系统，包括：真空泵、真空管路、第一开关、清洗气体供给源、清洗管路、第二开关、真空控制装置及清洗控制装置。本实用新型可实现对真空管路的定期自清扫，避免了真空管路因颗粒物累积而堵塞，防止设备因真空管路中颗粒物堵塞而出现异常，同时也节省了设备维护成本。

主权项

1.一种自清扫真空管路系统，其特征在于，包括：真空泵；真空管路，一端与所述真空泵相连接，另一端延伸至机械手臂的抓取端；第一开关，位于所述真空管路上；清洗气体供给源；清洗管路，一端与所述清洗气体供给源相连接，另一端与所述真空管路相连通；所述清洗管路与所述真空管路相连通的连接处位于所述第一开关远离所述真空泵的一侧；第二开关，位于所述清洗管路上；在机台端的所述机械手臂停止工作后控制所述第一开关关闭，并在所述机械手臂停止工作预定时间时发出反馈信号的真空控制装置，与所述第一开关及所述机台端相连接；接收所述真空控制装置反馈的信号后控制所述第二开关工作的清洗控制装置，与所述真空控制装置及所述第二开关相连接。