[实用新型]一种多坩埚晶体生长炉有效
申请号: | 201821279912.7 | 申请日: | 2018-08-09 |
公开(公告)号: | CN208685104U | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 郭宗海;张可生 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛本征晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 北京翔瓯知识产权代理有限公司 11480 | 代理人: | 康云晓 |
地址: | 066000 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种多坩埚晶体生长炉。主要解决了现在的晶体生长炉无法多坩埚生长的问题。其特征在于:所述炉体内横向设有隔热支撑板(2),所述隔热支撑板将所述炉体分成互不接触的上炉体(11)和下炉体(12),所述上炉体内腔设有第一内腔(3),所述下炉体设有第二内腔(4),所述第一腔内设有加热体(6),所述隔热支撑板上设有隔热安装板(5),所述隔热安装板上端面设有若干用于坩埚(9)底部安装的安装孔(51),所述隔热支撑板上设有与所述安装孔对应设置的通孔(21)。本实用新型提供一种多坩埚晶体生长炉,该隔热安装板可以安装多个坩埚,实现多坩埚生长,另一方面可以产生适合晶体生长的温度梯度,得到高质量的晶体。 | ||
搜索关键词: | 支撑板 隔热 坩埚 多坩埚晶体生长 隔热安装板 安装孔 下炉体 内腔 本实用新型 晶体生长炉 上炉体内腔 互不接触 晶体生长 体内横向 温度梯度 生长 加热体 上端面 上炉体 炉体 通孔 | ||
【主权项】:
1.一种多坩埚晶体生长炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体内横向设有隔热支撑板(2),所述隔热支撑板将所述炉体分成互不接触的上炉体(11)和下炉体(12),所述上炉体内腔设有第一内腔(3),所述下炉体设有第二内腔(4),所述第一内腔内设有加热体(6),所述隔热支撑板上设有隔热安装板(5),所述隔热安装板上端面设有若干用于坩埚(9)底部安装的安装孔(51),所述隔热支撑板上设有与所述安装孔对应设置的通孔(21)。
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