[实用新型]一种芯片扩膜机构及芯片分选机有效
申请号: | 201821287701.8 | 申请日: | 2018-08-10 |
公开(公告)号: | CN208712242U | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 田彪;蔡棒;向正彪;王小雪 | 申请(专利权)人: | 苏州科阳光电科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/02 | 分类号: | B07C5/02 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215143 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及芯片筛选设备领域,公开了一种芯片扩膜机构及芯片分选机,该芯片扩膜机构包括固定环,其上设有膜,膜上放置有芯片;扩膜环,包括扩膜上部和扩膜下部,扩膜上部和扩膜下部形成用于夹设固定环的环形腔室,环形腔室的一侧设有上料口;连接组件,包括三个第一连接单元和一第二连接单元,三个第一连接单元和一第二连接单元沿扩膜环的周向均匀分布,第二连接单元可拆卸的设于上料口。三个第一连接单元和一第二连接单元沿扩膜环的周向均匀分布,使固定环与扩膜环之间力在四个方向上均衡分布,使膜所受张紧力均匀而保持平整,避免顶针与膜之间的间隙分布不均导致出现单次吸不起芯片、吸两颗芯片或芯片丢失问题,提高芯片分选的作业效率。 | ||
搜索关键词: | 连接单元 芯片 膜环 芯片分选 固定环 周向均匀分布 环形腔室 上料口 顶针 本实用新型 间隙分布 均衡分布 可拆卸的 连接组件 设备领域 芯片筛选 作业效率 张紧力 夹设 平整 | ||
【主权项】:
1.一种芯片扩膜机构,其特征在于,包括:固定环,其上设有膜,所述膜上放置有芯片;扩膜环(1),其包括扩膜上部(11)和扩膜下部(12),所述扩膜上部(11)和所述扩膜下部(12)形成用于夹设所述固定环的环形腔室,所述环形腔室的一侧设有上料口(10);连接组件,包括三个第一连接单元(21)和一第二连接单元(22),三个所述第一连接单元(21)和一所述第二连接单元(22)沿所述扩膜环(1)的周向均匀分布,所述第二连接单元(22)可拆卸的设于所述上料口(10)。
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