[实用新型]一种扫描装置有效
| 申请号： | 201821289031.3 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN208736987U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 史晨晨;赵兴超;曲铭浩 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 王刚 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，包括底座、靶心托架、第一位置调节装置、第二位置调节装置、第一电机、第二电机、以及测量探针；靶心托架设置在底座上，用于固定靶心；第一位置调节装置设置在底座上且与靶心平行；测量探针通过第二位置调节装置固定在第一位置调节装置上；第一电机用于驱动测量探针沿与靶心平行的方向滑动，第二电机用于驱动测量探针沿与靶心垂直的方向滑动。本实用新型所述扫描装置通过实现了对靶心的测量点和测量范围进行自动化扫描，相比于人工测量省时省力，节约人力和时间成本。 | ||
| 搜索关键词： | 靶心 调节装置 测量探针 第一位置 扫描装置 电机 底座 本实用新型 第二位置 滑动 托架 平行 驱动 磁控溅射 人工测量 时间成本 测量点 垂直的 省力 省时 磁场 扫描 自动化 测量 节约 | ||
【主权项】：
1.一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，其特征在于，包括底座(1)、靶心托架(3)、第一位置调节装置(8)、第二位置调节装置(9)、第一电机(4)、第二电机(5)、以及测量探针(6)；所述靶心托架(3)设置在所述底座(1)上，用于固定靶心；所述第一位置调节装置(8)设置在所述底座(1)上且与所述靶心平行；所述测量探针(6)通过所述第二位置调节装置(9)固定在所述第一位置调节装置(8)上；所述第一电机(4)用于驱动所述测量探针(6)沿与所述靶心平行的方向滑动，所述第二电机(5)用于驱动所述测量探针(6)沿与所述靶心垂直的方向滑动。
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