[实用新型]压力检测装置及包含其的基板研磨系统有效
| 申请号： | 201821330472.3 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN208929972U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 权宁奎;赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了压力检测装置及包含其的基板研磨系统。根据一个实施例的对基板进行夹紧并移动的基板载体的压力检测装置配置于所述基板载体的移动路径上，通过所述基板载体得到加压，由此可以检测所述基板载体的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载体 压力检测装置 基板研磨 移动路径 对基板 夹紧 加压 检测 移动 配置 | ||
【主权项】：
1.一种压力检测装置，其为基板载体的压力检测装置，基板载体对基板进行夹紧并移动，所述压力检测装置配置于所述基板载体的移动路径上，通过所述基板载体得到加压，由此检测所述基板载体的压力。
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