[实用新型]一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机

摘要

本实用新型公开了一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架、下研磨盘和上研磨盘，所述机架上方设有下研磨盘，下研磨盘上方设有上研磨盘，下研磨盘与上研磨盘之间设有中心轮和外齿轮，中心轮的轴线方向和外齿轮的轴线方向均与下研磨盘的轴线方向相同，中心轮位于外齿轮的内圈，中心轮与外齿轮之间啮合有多个游星轮；所述机架包括工作台面和位于工作台面下方的底板，工作台面和底板均为正方形的板体，工作台面和底板之间通过四根第一立柱固定连接，四根第一立柱分别位于工作台面和底板的四角处；本实用新型修出的盘面光洁度高同时配合使用偏心修整轮。

主权项

1.一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架（1）、下研磨盘（2）和上研磨盘（3），其特征在于，所述机架（1）上方设有下研磨盘（2），下研磨盘（2）上方设有上研磨盘（3），下研磨盘（2）与上研磨盘（3）之间设有中心轮（4）和外齿轮（5），中心轮（4）的轴线方向和外齿轮（5）的轴线方向均与下研磨盘（2）的轴线方向相同，中心轮（4）位于外齿轮（5）的内圈，中心轮（4）与外齿轮（5）之间啮合有多个游星轮（6）；所述机架（1）包括工作台面（101）和位于工作台面（101）下方的底板（102），工作台面（101）和底板（102）均为正方形的板体，工作台面（101）和底板（102）之间通过四根第一立柱（103）固定连接，四根第一立柱（103）分别位于工作台面（101）和底板（102）的四角处；所述工作台面（101）的中心处开设有第一通孔（104），第一通孔（104）处设有第一圆形套筒（105），第一圆形套筒（105）的外圈上通过轴承转动连接有下研磨盘（2），下研磨盘（2）的外延连接有第一外齿圈（201），所述机架（1）内设有两组第一固定支架（11），第一固定支架（11）包括第一内环（111），第一内环（111）的外圈连接有四根第一连接板（112），第一连接板（112）的一端与第一内环（111）固定连接，第一连接板（112）的另一端第一立柱（103）的内侧固定连接，两个第一第一内环（111）之间竖直固定连接有第一电机安装板（113），第一电机安装板（113）上固定安装有第一电机（114），第一电机（114）的输出轴通过联轴器固定连接有第一转轴（115），第一转轴（115）通过轴承与第一圆形套筒（105）转动连接，第一转轴（115）的顶部驱动连接有中心轮（4）；所述第一转轴（115）下端套接有第一皮带轮（116），其中位于上的第一固定支架（11）左侧的两个第一连接板（112）之间设有第一轴承安装板（118），第一轴承安装板（118）与工作台面（101）之间通过轴承转动连接有第二转轴（119），第二转轴（119）的下端固定套接有第二皮带轮（117），第二皮带轮（117）通过皮带与第一皮带轮（116）驱动连接，第二转轴（119）的上端穿过工作台面（101）套接有下研磨盘齿轮（120），下研磨盘齿轮（120）与第一外齿圈（201）啮合，其中第一皮带轮（116）与第二皮带轮（117）直径不一致；所述工作台面（101）的顶部四角处竖直固定连接有第二立柱（301），第二立柱（301）的截面呈等腰三角形，第二立柱（301）的对应等腰三角形截面的斜边的一侧竖直固定连接有第一导轨（302），上研磨盘（3）的外圈滑动连接在第一导轨（302）上；同时第二立柱（301）顶部设有第二固定支架（31），第二固定支架（31）包括第二内环（311），第二内环（311）的外圈连接有四根第二连接板（312），第二连接板（312）的二端与第二内环（311）固定连接，第二连接板（312）的另一端与第二立柱（301）的顶部固定连接，第二内环（311）的顶部竖直固定安装有直线电机（313），直线电机（313）的输出轴驱动连接上研磨盘（3）。