[实用新型]研磨载体保管装置有效
| 申请号： | 201821340621.4 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN208866981U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 徐红林;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工技术领域。研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架、一用于放置研磨载体的置物篮，且置物篮设置在水槽内；置物篮包括包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；置物篮还包括纵向设置的置物板，置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成置物篮；还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，驱动机构安装在机架上，且驱动机构驱动连接置物篮。本专利通过优化传统的研磨载体保管装置，通过优化置物篮的结构，便于实现研磨载体的水平放置，避免了竖直放置导致的研磨载体容易发生形变的问题。通过驱动机构便于实现置物篮的升降，进而避免人为将置物篮搬运出，接触到纯水而造成纯水的污染，保护纯水。 | ||
| 搜索关键词： | 置物篮 研磨载体 驱动机构 保管装置 水槽 置物板 半导体加工技术 本实用新型 驱动连接 上下运动 竖直放置 纵向设置 传统的 后侧板 右侧板 左侧板 形变 内壁 左端 优化 搬运 升降 驱动 污染 | ||
【主权项】：
1.研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架，其特征在于，还包括一用于放置研磨载体的置物篮，且所述置物篮设置在所述水槽内；所述置物篮包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；所述置物篮还包括纵向设置的置物板，所述置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成所述置物篮，所述置物板上开设有透水孔；所述左侧板与所述右侧板上位于相邻的置物板之间的区域均开设有开口；还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，所述驱动机构安装在所述机架上，且所述驱动机构驱动连接所述置物篮。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司，未经上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821340621.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型碳化硅晶片研磨盘
- 下一篇：上下料机械手和机床
