[实用新型]精细金属掩模有效
| 申请号： | 201821354398.9 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN208898975U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 石清堉 | 申请（专利权）人： | 鋆洤科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 中国台湾桃园市龟*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种精细金属掩模，具有中央图案部以及强化外框。中央图案部具有掩模图案。强化外框连接于中央图案部的外缘。强化外框的厚度大于中央图案部的厚度，且精细金属掩模是以电铸工艺制成。精细金属掩模不易产生挠曲、使用寿命长并有利于提高有机发光二极管的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 精细金属掩模 中央图案 外框 有机发光二极管 电铸工艺 使用寿命 掩模图案 良率 挠曲 | ||
【主权项】：
1.一种精细金属掩模，其特征在于，包括一中央图案部以及一强化外框；该中央图案部具有一掩模图案，该强化外框连接于该中央图案部的一外缘，该强化外框的厚度大于该中央图案部的厚度，且该精细金属掩模是以电铸工艺制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鋆洤科技股份有限公司，未经鋆洤科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821354398.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：精细金属掩模的制造系统
- 下一篇：一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置
- 同类专利
- 专利分类
